二手 HITACHI / KOKUSAI DD-1206VN-DM #9251483 待售

HITACHI / KOKUSAI DD-1206VN-DM
ID: 9251483
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Diffusion furnace, 12" 2004 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1206VN-DM是為研究和工業應用而設計的高密度擴散爐和輔助設備套件的頂端。它配備了一個強大的800瓦1.65英寸直徑的爐頭,能夠擴散過程高達1200攝氏度。該裝置還具有真空密封蓋、數字工藝控制和可編程的溫度坡道,可用於精確的高密度高溫擴散應用。HITACHI DD-1206VN-DM還包括另外三個附屬單位;氣體輸送系統、排氣罩和控制臺。氣體輸送系統允許維持、控制和向擴散室提供兩種不同的氣體大氣。這可用於模擬復雜的熱處理,如等溫熱處理,也可用作原位氧化或濃度處理。輔助主體的專門設計,包括用於精確氣體控制的可調流量計和用於流動分布的三向閥,使位於爐體後部的兩個氣體出口中的任何一個能夠向爐體供應不同的氣體。KOKUSAI DD-1206VN-DM還配備了氣體排氣罩,設計方便安裝到擴散室頂部。這個引擎蓋包含一個排氣口和一個真空泵,以便在選定的過程中能夠精確地清除爐內的氣體。DD-1206VN-DM通過顯示擴散過程所有必要信息的集成控制臺進行控制;設置溫度和大氣氣體類型等各種工藝參數,以及爐功率使用、溫度功能和爐現狀等監測功能。綜上所述,HITACHI/KOKUSAI DD-1206VN-DM是一種先進的擴散爐和附件裝置,能夠在各種大氣中運行精確的高溫擴散過程。它具有強大的800瓦爐頭、數字化過程控制、三個輔助單元和一個控制臺。
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