二手 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9377447 待售

HITACHI / KOKUSAI DD-1223V
ID: 9377447
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Furnace, 12" Process: H2 Anneal 2004 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1223V是一種擴散爐,設計用於各種應用的過程溫度的快速和精確控制。這種先進的裝置適用於制造廣泛的鍵或處理各種拋光薄膜等薄材料沈積工藝。HITACHI DD-1223V擴散爐是為各種工藝的最佳效率和性能而設計的。這可能包括但不限於金屬或陶瓷的粘合、拋光膜和薄材料沈積過程。該裝置的溫度範圍高達1250°C,並利用感應加熱設備。這個先進的系統提供高效率和低能耗,允許用戶更準確地管理所需的溫度。KOKUSAI DD-1223V擴散爐利用其真空混合熱區單元(VMHZS)產生均勻、精確的溫度分布。這臺專用機器防止了RTD所經歷的氧化和其他熱差異,從而提高了目標溫度的準確性。該裝置的溫度控制環路裝有PID、Beta鉑金和Thermus ML6-HT三個傳感器。Beta鉑型傳感器能夠高精度地進行控制,而Thermus ML6-HT傳感器可以在高達1250 °C的溫度下運行。DD-1223V擴散爐設計用於高真空操作和材料的最終升華。該裝置采用了強大的風扇和優化的氣流工具,能夠安全疏散揮發性和危險性物質。該機組進一步配備了先進的冷卻資產,以加快冷卻速度。HITACHI/KOKUSAI DD-1223V擴散爐是三菱電腦化控制模型(MCCS)附帶的全自動裝置。該設備包括可視化交互式用戶指令,使設備的管理更加容易。自動化設備可用於從內存中召回多達20個程序。這些程序在有用的鏈式菜單顯示中分配,以便於導航。HITACHI DD-1223V擴散爐還配有許多有用的配件.這包括增強性能的S-33V型氮凈化系統。這個特殊的單元有助於減少過程環境中存在的氧氣量。該裝置還包括一臺低壓氮氣機,有助於提高爐膛內部大氣中的氮氣濃度。這減少了氧化,提高了材料的質量。綜上所述,KOKUSAI DD-1223V擴散爐是為各種薄材料沈積過程及其他應用快速精確控制工藝溫度而設計的先進裝置。該裝置配有先進的真空混合熱區工具(VMHZS),加熱均勻,溫度控制精度優越。該設備還包括一個自動化的三菱電腦化控制資產(MCCS),用於通過預設程序和其他功能進行快速導航。
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