二手 HITACHI / KOKUSAI DD-1223VN #9285063 待售
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HITACHI/KOKUSAI DD-1223VN是一種先進的擴散爐和配件,設計用於半導體制造和研究環境。該擴散爐能夠對各種材料和基板進行快速熱處理,從而對加熱速率和溫度進行高精度控制。設備由一個電源機架模塊、一個主控制器單元、兩個獨立控制的crucible、一個加熱器塊和一個精密溫度控制器單元組成。電源機架模塊同時容納主電源和加熱器塊,設計用於保持穩定電壓,用於精確擴散加熱。主控制器作為「大腦」工作並允許用戶通過直觀的圖形界面來控制兩個crucible的溫度。這兩個Crucible可以獨立控制,加熱到1150 C的最高溫度,溫度斜坡速率高達300 C/秒。加熱器塊由多個石墨塊組成,每個石墨塊都附著在熱電偶上,以便在整個塊表面實現精確的溫度。為了提高安全性和準確性,將加熱器塊和crucibles封裝在石英室中。精密溫度控制器單元在擴散過程中,對兩個crucibles均進行1°C或更好的恒溫監控,並具有多種自動功能,以確保精確加熱。HITACHI DD-1223VN還包括各種安全功能。石墨塊設計為防止加熱元件與樣品基板接觸,石英室設計為防止熱量擴散到周圍環境。此外,氮氣凈化裝置有助於防止氧化,冷卻和洗滌機有助於減少過程中的灰塵和廢氣。總之,KOKUSAI DD-1223VN是一種先進的擴散爐及其附件,旨在為半導體制造和研究環境提供最大精度和可靠性。其電源機架模塊、主控制器單元、兩個獨立控制的crucible、加熱器塊、精密溫度控制器單元均協同工作,提供可靠的擴散處理。而且它的一系列安全功能確保了一個安全、準確和高效的過程。
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