二手 HITACHI KOKUSAI DD-1223VN #9293898 待售

HITACHI KOKUSAI DD-1223VN是專門為擴散過程設計的高性能擴散爐。它具有處理廣泛產品的能力，從半導體器件到其他產品如晶圓、粉末和薄膜。高功率擴散過程有可能與爐子的半反應堆室，允許高水平的效率和功率。它具有耐用的不銹鋼結構和石墨加熱元件，即使在高溫條件下也能確保可靠的操作。該爐有兩個獨立的控制器，允許有效的加熱控制、溫度剖面設置和循環重復性。該爐還有一個內置的安全系統，在半導體器件生產環境中使用擴散爐是必不可少的。這確保了安全可靠的操作，不會發生爆炸或其他事故。它還有一個自動氣體關閉系統，以確保氧氣不會進入加工區域。DD-1223VN最令人印象深刻的特點之一是其出色的準確性和可重復性。這確保了擴散過程是合格和可靠的。該爐還具有極好的溫度均勻性，在過程中始終避免使用所謂的「熱點」。此外，該爐還具有兩個獨立的溫度傳感器（K型熱電偶），以及兩條獨立的氣線，意味著兩種不同的氣體可以同時在爐的不同區域使用。這允許在同一基板上進行多層擴散過程。此外，它還有一個氣體混合室，以提供對氣體流動和濃度的精確控制。為了保證擴散過程的最佳效率，該爐還具有高精度氣體噴射系統。這確保了氣體被適當地註入和分布在整個腔室，從而產生一個均勻的過程。此外，惰性氣體可通過爐側進氣口供應，以增加安全性和統一的工藝條件。最後,HITACHI KOKUSAI DD-1223VN還包括一項低成本、無與倫比的現場安裝服務,可確保安裝過程盡可能輕松。有了這些特點，這種擴散爐提供了卓越的性能和可靠性，使其非常適合在任何應用中使用。