二手 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #293608646 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H擴散爐及其附件是一種高度通用和可靠的半導體器件熱處理設備。該系統具有高溫高壓處理功能,可處理高達1500 °C的各種應用程序。該單元包括一個擴散爐，內部加熱元件，以及靈活的加熱氣體和腔室壓力控制。擴散爐內徑為9英寸，單高室，允許最大工件尺寸為8英寸x 8英寸。主室由兩（2）個可定向調節的二矽化鉬（MoSi2）加熱元件加熱，精確度± 1°C。這臺機器還提供兩（2）個定向可調二次加熱元件，每個加熱至1000°C的最高溫度，精度± 3°C。為了提高精度,HITACHI DD-802V-H還提供了一種冷卻工具,可以將腔室內的溫度降低到低於初始溫度10°C。KOKUSAI DD-802V-H資產還允許室內各種氣氛。氮氣和惰性氣體可通過側壁入口引入，流量高達每分鐘10升。外部氣體循環的另一個港口允許控制更具侵略性的大氣，例如氧化大氣。除了氣流控制外，該車型還能控制腔室壓力，有兩個進氣口和一個排氣口，均具有可調壓力設置。為確保最佳加工條件和安全，DD-802V-H配備了多項控制和監控功能，包括用於監測溫度、壓力和濕度的自動化設備。該系統還設有一個在緊急情況下立即切斷腔室電源的關閉裝置，以及一個用於防止過壓的先進減壓閥。HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H擴散爐及配件非常適合用於從半導體加工到光伏器件生產的各種應用。這臺機器提供了最高水平的安全和可靠性，由於其自動化的控制和監控功能，多用途的大氣，以及精確的加熱元件。對於為其應用程序尋求高溫高壓處理的企業來說,HITACHI DD-802V-H是理想的解決方案。