二手 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #293608648 待售
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HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H是一種頂級擴散爐和附件封裝,專為苛刻的工業級應用而設計。它是一種雙擴散爐,能夠達到高達1,450 °C的溫度,可容納最多3個直徑達6英寸的堆叠基板。以石英管為基礎,整個爐子的熱均勻性和可重復性都很高,超過80%。它配有真空泵,用於從真空室排出氧氣和其他汙染物,可用於維持真空環境高達30 mBar。石墨加熱元件采用圓柱形結構,一對雙葉片隔離加熱元件與微處理器控制的PID溫度調節相結合。HITACHI DD-802V-H具有高度靈敏、高精度的熱電偶溫度控制器,可提供精確和可重復的N2/H2配置文件管理。雙葉片元件的布置還允許優化清潔氣氛管理,從而實現最佳的溫度均勻性。加熱系統也被設計成最大限度地減少熱效率損失,以產生快速反應的溫度斜坡,即使有大的基板尺寸。KOKUSAI DD-802V-H配備高級液晶控制器面板,圖形顯示直觀易用。它有幾個安全特點,以防止過熱、開路、異常壓力警報。其他特性包括多條加熱和冷卻曲線、可編程預熱循環、自動關閉、儀表校準和參數微調,以確保準確的擴散結果。該套件還配有一系列配件,如加熱器屏蔽室、氮化物襯裏、元素護罩和報警蜂鳴器。它還有一個自動調平和門對準的機制,以幫助確保完美的定心和均勻的壓力,在堆載基板。總之,DD-802V-H擴散爐封裝是一種可靠、可重復的優質封裝.該套件具有高度靈敏的熱電偶和先進的液晶控制器、嚴密的溫度均勻性以及精確的基板加載和放置,提供了廣泛的應用。其安全特性和配件選擇使其成為精密擴散和先進應用處理的理想包裝。
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