二手 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9226000 待售

HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H
ID: 9226000
晶圓大小: 6"
優質的: 1991
Vertical furnaces, 6" 1991 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H是一種用於半導體器件制造的擴散爐及附件。它設計用於在高真空條件下快速、準確地進行晶片的熱處理。HITACHI DD-802V-H具有一個V-h形石英管和兩個緊湊的垂直熱化型線圈。它配備了氣體冷卻設備、熱壁式攪拌器、高速傾斜機構。KOKUSAI DD-802V-H能夠在高達1000℃的高溫和低壓下進行擴散處理。由於采用高性能熱耦合,具有較高的溫度均勻性,具有較高的可重復性。這樣可以精確控制溫度均勻性,從而實現熱氧化、雜質活化和細線模式創建等過程。DD-802V-H有一個石英管,具有雙熱室設計。這種安排允許通過膨脹和分配釋放的能量提供更有效的傳熱來改善溫度分布。它還有一個自動裝載機,在進行大規模擴散處理時簡化操作,盡量減少等待時間。此外,HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H提供了一種氣體控制設備,用戶可以根據特定條件和過程對氣體流量進行精細調整。HITACHI DD-802V-H具有出色的運行能力,維護效率低。它由單相208V交流電源供電。它的其他特點包括大功率手動升降機、傾斜機構、氣體冷卻系統以及可調節的加熱器和溫度控制器。這使得KOKUSAI DD-802V-H一個可靠和高效的單元,適合各種應用和過程。總之,DD-802V-H是一種用於高真空條件下晶片快速準確熱處理的擴散爐及其附件。它有石英管、自動裝載機、氣體控制裝置和傾斜機構,用於精確的溫度控制。它采用單相208V電源供電,維護成本低。HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H是一種適用於一系列應用程序和過程的理想機器。
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