二手 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9226001 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H是一種擴散爐和附件，設計用於電子工業的許多不同應用。該設備用於高溫化學氣相沈積、高溫光子固化和物理氣相沈積前的預退火。擴散爐由微處理器控制的多參數編程系統操作，界面簡單易用。此單元允許最多存儲36種不同的流程配方，因此用戶可以快速準確地執行不同的流程，而無需對每個流程進行重新編程。HRF-802V-H的腔室采用耐高溫不銹鋼結構，並配有熱步進腔室襯裏，以確保最高溫度均勻性和柔韌性。垂直升降門允許基板容易對準，側開室設計提供更均勻的溫度控制。爐的溫度範圍為500至1100 °C，設有半固定式前裝載機和後卸載門。Crucible設計用於高溫工藝，采用全不銹鋼結構，包括兩層石墨絕緣機。屏蔽板式電加熱元件，使工藝介質遠離元件。可選的全陶瓷槳允許在處理過程中控制介質傳輸。一個可選的氣體控制工具還可以在處理過程中對大氣進行單獨和準確的控制。附件套件旨在確保用戶能夠快速準確地執行流程,提供高質量的最終產品。它包括絕緣和金屬化套件，允許測試隔離和互連；通用融合網格套件；以及鋁蒸發船。套件中還有一套軟管和管道，用於連接腔室和真空系統。HRF-802V-H的電子功能旨在提供準確的控制和讀出所有參數。真空資產采用數字讀出的多級真空泵設計，可處理高達10-6 torr的過程。該爐還有一個創新的溫度輸出模型，直接連接到PC進行精密的測井和監控。HITACHI DD-802V-H是一種強大的擴散爐和附件設備，設計精確度和靈活性，以滿足電子行業的各種需求。該系統能夠快速可靠地產生高質量的結果，是業內眾多應用的絕佳選擇。