二手 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9237189 待售
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已售出
ID: 9237189
優質的: 1991
Furnace
Process: PYRO
No alarm
Inlet:
Power:
Heater: 1 ¢, 208 V, 142 A
Main: 1 ¢, 120 V, 42 A
Blower: 3 ¢, 208 V, 2 A
Gases:
N2: 1/4 VCR Male
H2: 1/4 VCR Male
O2: 1/4 VCR Male
HCL: 1/4 VCR Male
CDA: 1/4 LOCK Male
Vacuum: 1/4 LOCK Male
VENT: 1/4 VCR Male
Outlet exhaust drain:
PCW: (2) 1B Union male
Exhaust:
Gas box: 150 ¢
Heater: 150 ¢
Process: 40 ¢
Drain: 3/8 LOCK Female
Damaged part: Drain nozzle
1991 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H是一種最先進的擴散爐和配件,專為處理最困難的應用而量身定制。HITACHI DD-802V-H是由適用於2200°C溫度下擴散過程的耐高溫材料構成的。這樣可以更快地降低能耗,並消除維護成本。該爐具有用於控制溫度均勻性和低均勻性誤差的絕緣鎢絲，以及帶有兩組熱電偶的擴散模塊，用於精確的溫度測量。KOKUSAI DD-802V-H具有三區溫度控制功能，有助於在整個晶圓中產生高質量的擴散。加熱區還有助於減少熱應力造成的變形。DD-802V-H具有先進的高溫安全和抗氧化特性，可延長運行時間，提高效率。高溫計設備由四個熱電偶、四個獨立的過溫傳感器和兩個溫度讀數可達1650 °C的高溫計頭組成。工藝氣體在爐內循環，以提高溫度均勻性和均勻摻雜濃度。另外，該爐具有防氧化系統，通過調整傳送機方向和氣體在擴散過程中流動，保護晶片免受氧化損傷。HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H還配備了一個專利的半封閉均質氣體裝置，可最大程度地減少氣體泄漏和交叉汙染。這臺機器消除了對手動控制工具的需求,從而提高了效率,減少了操作錯誤。此外,HITACHI DD-802V-H能夠收集工藝日誌,從而使用戶能夠跟蹤制造過程中的溫度和流速。總體而言，KOKUSAI DD-802V-H是一種尖端的擴散爐，由於其先進的安全性和抗氧化特性，加上氣體泄漏最小化和溫度均勻性和控制的提高，為用戶提供了更高的效率和降低的成本。此模型為希望以最高質量制造某些要求最苛刻的產品的用戶提供了強大而可靠的解決方案。
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