二手 HITACHI / KOKUSAI DD-802V #9269474 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-802V是為制造半導體器件而設計的擴散爐及配件。它被用於多種行業，包括消費電子、航空航天和汽車工業。該爐由幾個部件組成，包括一個腔室、一個電源、一個氣體輸送設備和一個冷卻系統。HITACHI DD-802V中的消聲器室由氧化鋁或石英板制成，用於均勻的熱分布。腔室裝有幾個溫度傳感器，用於監測和控制溫度分布。KOKUSAI DD-802V的可用溫度範圍為200-900°C,精度為± 5°C。該室還配有一個原位氣體輸送裝置，有助於保持工藝氣體如CVD、PVD等的均勻流動。DD-802V由交流電源供電,使其具有交流220V-380V電壓範圍、50-60Hz頻率和內部功率因數校正（PFC）機。PFC工具有助於保持向爐子的穩定電流流動，從而降低能耗，促進溫度分布的穩定性。HITACHI/KOKUSAI DD-802V中的氣體輸送資產有助於在室內營造惰性氣氛，促進防止氧化和薄膜的均勻沈積。該模型還有助於控制工藝氣體的流量，從而實現精確的參數控制。爐中的冷卻設備有助於降低沈積膜的溫度，使其不會過熱，防止熱引起的損壞。HITACHI DD-802V能夠產生低於0.1 Pa的真空水平，而無需真空泵。這種特性促進薄膜的均勻沈積，有助於保持腔室的清潔度。KOKUSAI DD-802V還配備了CIX和質量流控制器（MFC），有助於控制薄膜沈積的工藝參數。DD-802V是可靠的，強大的，能夠生產各種厚度和純度的薄膜。非常適合制造半導體器件等產品。該系統也是安全的，能夠在各種溫度和壓力下高效工作。