二手 HITACHI / KOKUSAI DD-803V #293633553 待售
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單擊可縮放
ID: 293633553
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Vertical furnace, 8"
Atmospheric controller
Hand controller
CX2000 Controller
SECM / GEM Communication: Serial
Utility cabinet
CQ1501 Temperature controller
(4) Zones
D4EX02728 Heater
Process temperature: 700°C-1000°C
Flatzone length: 952.50 mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: Quartz
Tube seal configuration: N2 Flow
R-Type thermocouple
Exhaust controller
Transformer
Temperature control:
P: 0.1~200%
I: 0.01-100.00 min
D: 0.00-10.00 min
Load station:
WIP Carrier capacity: 16
Wafer spacing: 5.20 ±0.05 mm
Load size: 150-Slots
Boat rotation
Process gas control system:
External torch
H2 Burn off
Bubbler
Process gas (Atmosperic):
MFC Model: SEC-Z500, SEC-4500, SEC-4400 / Analog
Process gas: N2, H2, Ar, O2, N2O
SCHUMACHER ATCS 15 Bubbler system
Other gases: UN2 (Air/N2)
Input power supply:
Heater: 208VAC, 50KVA, Single phase
Controller: 100VAC, 4KVA, Single phase
Clean Unit: 100VAC, 1.5KVA, Single phase
Start-up PSU: 24VDC
1998 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-803V擴散爐是半導體制造商先進、可靠、高效的工具。該爐采用氣流型設計，可進行多種高溫擴散過程。它提供高速、高可重復性和冷卻功能。該爐包括氣流型設計，它允許材料的安全和均勻的加熱和冷卻。它還包括多個控制器，包括溫度控制器、流量控制器和壓力控制器。該爐的溫度範圍很廣，能夠在高達1500 °C的溫度下運行。它具有先進的攪拌和混合技術，允許熱量在材料中的均勻分布。該爐還有一個保護性石英管，使其能夠在真空環境中運行。爐子配有架空機械系統，設計方便爐子元件的移動和裝載。該爐還包括若幹安全特性，如內置隔熱系統和過溫報警。該爐還包括一些額外的功能，如計時器、低溫報警器、高溫報警器和清除計時器。該爐還具有自動化控制系統，允許對過程進行微調控制。HITACHI DD-803V擴散爐也有多種配件，如冷卻套件、緩沖卡盤和隔離器。冷卻包使爐子能夠快速高效地冷卻，而緩沖的卡盤有助於將基板牢固地固定在爐子中。隔離裝置用於保護基板免受汙染。總體而言，KOKUSAI DD-803V擴散爐是一種可靠、高效、安全的半導體制造工具。它提供了廣泛的溫度範圍，先進的攪拌和混合技術，多個控制器，和各種配件，以確保均勻擴散過程。
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