二手 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9211006 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-812V是一種用於半導體器件制造的擴散爐及附件。它是一種垂直式爐，配有三種加熱元件的熱區：石墨電阻加熱器、石英鹵素燈和紅外陶瓷加熱器。爐溫可達1000 °C，具有高熱均勻性。具有優良的環境特性，適用於半導體外延沈積。它具有最先進的三維氣體分配設備和動態調節，允許精確和穩定的氣體分布整個過程周期。該系統能夠進行精確的氣流控制，允許各種過程。此外，流量控制氣體的流量可以調整，以滿足特定的沈積條件。熱區由上部和下部兩部分組成。上部用於加熱晶片，下部用於控制工藝氣氛。該爐配有高端微處理器控制器，可實現最佳工藝控制和精確溫度控制。易於使用的控制器支持50多種配方，允許100個同時編程。而且爐子還配有廣泛的配件，包括燃氣面板、高效排氣單元、石英管加熱器等。氣體面板有助於控制輸入氣體流動，並提供精確的氣體分配機。排氣工具有助於清除資產中的蒸氣和氣體，以保持清潔的工作環境。石英管加熱器有助於保持沈積表面的溫度恒定。該爐的設計是為了提供最大的工藝效率和良好的工藝控制。它具有超高分辨率攝影功能,以及可靠的安全模型,可防止未經授權的訪問。該設備由提供日常維護和支持的綜合服務計劃提供支持。HITACHI DD-812V是現代半導體器件制造的理想選擇。它是為提供精確的溫度控制和最高的過程性能和最大的可靠性而設計的。其典型的應用包括肖特基屏障、歐姆接觸和外延層的生長發育。