二手 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9239651 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-812V是一種擴散爐及配件設備，設計用於提供對半導體等行業中使用的擴散爐的精確控制。它便於輕松、準確的操作,以最小的停機時間確保最大的工作效率和可靠性。該爐有能力和多用途的設計，並允許在批量或連續模式加熱。其自動溫度控制系統配有高精度溫度傳感器，允許精確穩定的溫度。利用內置電源，通過靈敏的溫度控制可以精確調節溫度，通過提高工藝可重復性來節省成本。除了熔爐本身之外，該系統還包括各種組件，包括氣體噴射器、壓力傳感器、風扇和其他外圍設備。氣體噴射器將氣體有效地分配到爐膛中，爐膛由文丘裏喉嚨組成，也可用來清除含氫氣體。壓力傳感器測量氣體壓力，可以作為檢測和糾正處理過程中氣體供應誤差的手段。其他附件包括工藝料鬥、消聲器、感光器、工作站托架、腔室裝配和工藝控制系統。此外，HITACHI DD-812V旨在減少顆粒汙染，優化室內溫度均勻性，創造一個更好的工藝環境。這在涉及超高密度晶圓制造和加工的應用中尤為重要。它還具有一個全面的遠程監控和診斷單元,能夠持續監控設備的最佳性能。總體而言，HITACHI的KOKUSAI DD 812V機是一種先進而可靠的擴散爐，其設計目的是在最小的停機時間內提供精確的控制。它提供了廣泛的可調變量、靈活的元件和改進的工藝可重復性,確保了半導體和其他工藝行業的最佳效果。