二手 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9397458 待售
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ID: 9397458
優質的: 2007
Vertical diffusion furnace
Robot: NG
(4) Resistance heating cartridge heater zones
Effective area: φ276 mm
Heat uniformity length: 800 mm (heater stand alone)
Operating temperature range: 400°C~850°C
Quartz incorporated (wafer fully charged)
Heat equalization length: 740 mm
Operating temperature range: 400°C - 500°C
Cassette shelf: (3) Rows x (3) columns
Cassettes: 9"- 6"
Maximum power consumption: 800°C
Power supply: 200 V, 3.6 kW, 3-Phase
2007 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-812V擴散爐設計用於氧化和快速熱退火應用。它采用直徑8英寸的石英管，具有良好的均勻性和嚴密的工藝控制。該爐可處理氧化物和氮化物薄膜。其高達1250°C的高溫能力和+/-0.1°C的可重復性精度確保了要求苛刻的工藝（如半導體器件制造）的可靠和一致的結果。HITACHI DD-812V具有獨特的區域控制設備,允許精確的加熱剖面進行過程優化。它配備了兩個獨立控制的加熱器和兩個石英管架，允許在從室溫到1250°C的過程溫度下運行。該爐還通過警報、熱計數器和過程控制邏輯提供全面的監測。KOKUSAI DD 812V配有渦輪泵、背襯泵、石英鈴罐、寒板和腳踏板控制器等多種配件。渦輪泵允許在氧化過程中高效去除氣體分子，而背襯泵則防止進氣。石英鐘形罐用於確保工藝環境得以維持，而寒板則降低了熱沖擊的風險。最後，腳踏板提供額外的控制，讓你能夠精確地調整熱量設置和啟動/停止爐。DD 812V提供全面的安全功能,包括過溫保護和熱聯鎖系統。這樣可以確保過程保持安全和穩定,即使在長期運行的過程中也能進行可靠的操作。該設備還能夠存儲多達十個操作菜單,並且可以記錄多達三個溫度配置文件。HITACHI DD 812V擴散爐是一種強大可靠的機器，對氧化物和氮化物薄膜具有良好的工藝控制和可重復性。它易於使用的控制和功能,加上先進的安全功能,使其成為各種擴散和退火過程的理想選擇。
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