二手 HITACHI / KOKUSAI DD-833V-8B #9281053 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-833V-8B是一種先進的擴散爐及配件，為包括金、鋁、矽、銅沈積在內的各種工藝提供完整的解決方案。擴散爐采用多區控制，提供精確的控制和可重復的精度。先進的功能提供精確的溫度控制和快速的加熱時間，同時還允許材料厚度和均勻性層之間。它可以加工尺寸達8英寸的基板，溫度範圍可以設定在70°C-1200 °C。它還具有壓力敏感塗層工藝和多區可編程控制，以盡量減少熱梯度。HITACHI DD-833V-8B的精細溫度控制允許更高的沈積速率，是半導體器件凸起應用的理想選擇。該爐還設有氧化相控制設備（OPCS），用於可重復氧化。加熱器是一種高頻感應類型,它允許均勻的鍍熱分布,而CR橫向傳感器（x2）確保精確的溫度讀數。在爐頂，一個由石英玻璃制成的視口在高溫下提供了極好的能見度。KOKUSAI DD-833V-8B還具有在厚基板上工作的墻面老化系統，並利用調制的射頻電源和高級c模式程序進行高密度摻雜。溫度測量由一個高性能的熱傳感器單元提供，允許爐子的精確溫度設置。DD-833V-8B與包括陽極法蘭、可旋轉陽極驅動臂組件、高溫電饋通、軟管和連接電纜在內的基本附件套件捆綁在一起。綜合控制機包括高分辨率、彩色液晶顯示屏、HI/LO熱、斜坡時間、總工序時間、視覺工序歷史、5軸運動控制、多功能Function Key操作。總體而言，HITACHI/KOKUSAI DD-833V-8B是一種先進的擴散爐和各種工藝的附件工具。它具有多區域控制、精確溫度控制、OPCS、HFIC加熱、墻面老化資產和基本附件套件。綜合控制模型提供了所有必要的工具，以確保高效和可重現的過程輸出。