二手 HITACHI / KOKUSAI DD-833V #293749184 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-833V是一種擴散爐及附件設備,旨在為廣泛的應用提供高精度溫度控制。它利用一個垂直的石英管通過一個氣體混合物來實現晶圓的均勻加熱。大的內徑允許大批量晶片和層厚度同時處理，而高溫精度則可以精確控制傳遞時間和傳熱。擴散爐是一個三軸模型，以光學高溫計為特征，在多個區域精確監測和控制溫度。它還包括一個用於溫度控制的石英管保護器、一個石英室和一個石英鐘形罐。該爐由高質量、耐腐蝕的不銹鋼打造而成，並配有半導體功率調節器、電子壓力監控器、緊急關閉和電平指示器。HITACHI DD-833V的附件包括真空室、渦輪分子泵、旋轉驅動、安全閥、流量控制器、壓力開關、壓力表和晶圓熱探測器。真空室有助於消除擴散爐過程中空氣的存在，確保高質量的結果。渦輪分子泵在高速作用下泵出擴散爐的氣體，而旋轉驅動則是在處理擴散爐內部的晶片時轉動晶片。隨附的安全閥設計用於在需要時快速限壓，流量控制器確保氣體混合物被精確調節。壓力表和壓力開關設計用於監測和控制處理過程中的壓力水平。晶圓熱檢測器提供晶圓溫度的視覺反饋。此外,KOKUSAI DD 833V包括兩個冷卻系統和一個溫度控制器。第一個冷卻系統安裝在排氣歧管中，設計用於快速冷卻離開擴散爐的氣體混合物。第二個單元是幹式冷卻，溫度控制器有助於在50至1000°C的範圍內精確調節溫度。HITACHI DD 833V擴散爐及附件機提供溫度和熱參數流動的精確控制，是廣泛應用的理想選擇。