二手 HITACHI / KOKUSAI DD-833V #9161747 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-833V是專為控制各種半導體材料熱處理而設計的高性能擴散爐。這種強大、高效的爐具有獨特的三區排氣系統，提供最大的熱處理效率和靈活性。該系統經過設計，可在各種不同的溫度範圍和化學大氣中運行，非常適合高溫摻雜和退火工藝以及生產多層金屬化結構等應用。擴大的熱區靈活性進一步提高了對加工溫度的控制，從而提高了工藝的可重復性和可重復性。HITACHI DD-833V具有從低熱反應到高達1150°C的高溫範圍。由於采用了獨特的分離式紅外輻射加熱系統，使三個獨立控制的加熱區能夠在整個爐子內保持均勻溫度。每個區域都配有一個獨立的紅外輻射元件控制器，該控制器在+/-3°C精度範圍內精確控制每個區域的溫度。KOKUSAI DD 833V裝有一個內置冷卻風扇，該風扇旨在有效地排出熱過程產生的煙霧和煙霧。該冷卻風扇還有助於維護用戶的安全工作環境。通過爐子自動控制/調節空氣流量的機制，進一步保證了供給爐子的氣體質量。DD 833V標配各種配件和可選功能,如除去熱工藝產生的氧氣或副產品的洗滌器、用於連接可選洗滌器和爐子的各種氣體管線,以及用於保護晶片不被過度加工或燃燒的石墨氧化鋁和陶瓷材料。KOKUSAI DD-833V是一種功能強大的擴散爐,旨在為用戶提供通用的工藝能力、改進的熱處理性能和最高的操作員安全級別。配備堅固的結構和高溫範圍，HITACHI DD 833V是滿足半導體生產需求的理想工具。