二手 HITACHI / KOKUSAI DD-833V #9238011 待售
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ID: 9238011
晶圓大小: 6"
Diffusion furnace, 6"
Process: PYRO (DCE)
Process gas: N2, H2, O2, DCE
Loading system:
Front operation panel
Pass box (Load lock): Cassette loader
CX 3002 Main controller
CX 1220 Mecha controller
Wafer counter, 6"
I/O Stage check: Air off
Cassette loader check: CX 3002
Furnace system:
CQ 1500 (DN-150) Temperature controller
D4EX 05414 Heater
SIC Profile
(4) Controllers
(4) Monitors
Gas system:
CX 1311 MFC Controller
MFC (STEC):
Missing MFC1
MFC2: H2 20SLM
MFC3: O2 20SLM
Model / Gas
MFC4 / O2 2SLM
MFC5 / N2 1SLM
MFM: N2 10SLM
(2) Filters
Pressure control system:
AERA RC-100F Pressure controller
Valve open / close check: APC Valve area RV-100
Burning system:
CX 1310 Burn controller
Power:
Heater: 3Φ, AC 200 V, 42 kVA
Control: 1Φ, AC 100 V, 30 A
Clean unit: 1Φ, AC 100 V, 40 A
ETC: DCE Power 1Φ, AC 100 V, 5 A.
HITACHI/KOKUSAI DD-833V是一種擴散爐和附件,旨在為各種尺寸、形狀和等級的金屬和合金提供精確可靠的擴散。其多才多藝的設計使其可用於熔融、合金沈積、真空合金等多種類型的工藝，以及其他各種擴散工藝。HITACHI DD-833V擴散爐包括一個雙壁爐體和一個用於加熱的中央真空室，它被一個用來防止熱量損失的外殼所包圍。該爐的設計目的是提供高達1350°C的溫度，並能夠在擴散過程中保持受控的氣氛。該爐配有精密自動控制系統，使用戶能夠通過數字顯示器精確調節溫度，便於控制。KOKUSAI DD 833V還配備了多種配件，可用於各種應用。它包括各種crucibles和托盤，包括一個大托盤，允許各種形狀和尺寸的材料進行處理。該爐還包括一個高精度的送粉機，使其能夠精確地將粉末沈積到基板上，實現精確的擴散。HITACHI DD 833V具有高度可靠和耐用的特點,因為它的重型設計允許爐子連續運行數小時而無需任何維護。它的設計也是安全可靠的，增加了一個防止任何潛在事故或故障的雙壁外殼。該爐還配備了多種傳感器和監控器，使用戶能夠持續監測爐內的溫度和大氣。DD 833V擴散爐設計精確度和可靠性，提供各種金屬和合金的精確擴散。它易於使用、安全、耐用性強，非常適合擴散行業的各種應用。
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