二手 HITACHI / KOKUSAI DD-853 #293643214 待售
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單擊可縮放
ID: 293643214
晶圓大小: 8"
System, 8"
Process: J2 Pyro
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Controller power: 120 VAC, Single phase
Heater power: 208 VAC, Single phase
Hard Disk Drive (HDD)
Power box
Heater upper cover
Gases: N2, H2, O2, TLC (DCE)
Torch heater
CX1317 Torch controller
ATCS-15 SCHUMACHER
CQ1600 Temp controller
PLC OMRON
CX3202 Gas controller
Gas box
Gas box DCE Line
CX3002/B Main controller
D4EX05486 transformer
SIC Liner tube
SIC Boat
SIC Boat cap
SIC Boat Pin
SIC Torch liner tube
Temperature controller:
Heater controller
Heater over
Driver mechanisms:
I/O Shutter
I/O Stage
FOUP Loader ARM
Wafer detection: 25 Uin
Wafer transfer
1+4 Ceramic fork
Boat elevator
Sealcap
Turntable
Pendent
No heater
Racks:
(4) Lower 2
(5) Upper 2
(2) Sub 2
Gas supply:
MFC
Valve
Torch unit
ATCS-15 Absolute temperature control system
Drivers:
E-Axis motor
R-Axis motor
Z-Axis motor
X-Axis motor
Y-Axis motor
V-Axis motor
CS-Axis motor
CZ-Axis motor
CX-Axis motor
CY-Axis motor
OR-Axis motor
Exhaust system:
HORIBA STEC EC-5000 / PVU-3000 Exhaust APC Valve
Pressure sensor.
HITACHI/KOKUSAI DD-853是一種擴散爐和配件，在使用它進行擴散和退火過程時為用戶提供高水平的用戶控制和性能。HITACHI DD-853配備了獨特的、高精度的控制設備，可以對溫度、定時和氣體純度進行嚴密控制。爐體由耐用的高端材料構成，旨在保護工藝和環境不受過度磨損。KOKUSAI DD-853的中心是一個垂直安裝的單室線圈型石英反應堆。這種垂直定位使擴散和退火過程具有卓越的性能。該爐的溫度可達1450°C，可提供最大3.2kW功率。溫度均勻性保持在家具主體長度上下+/-5°C以內。擴散過程監控系統設計為易於使用，允許用戶仔細調整其過程以獲得最佳性能。該爐還配備了空氣洗滌裝置，以確保在整個擴散和退火過程中使用清潔空氣。這臺機器包括過濾器和冷卻系統，在閉環工具中運行。壓力容器被整合到資產中，並充滿擴散或退火過程所需的核定氣體。該爐還配備了一系列壓力和位移傳感器，以確保對工藝的最佳控制。DD-853還包括一系列附件和成像工具，包括高溫計、顯微鏡和成像模型。這種組合使用戶能夠精確監控其擴散和退火過程。高溫計設計用於測量退火或擴散過程中樣品的溫度，並提供詳細的讀數。顯微鏡和成像設備旨在提供高水平的細節和精確度，同時提供樣品材料在擴散或退火時的圖像。最後,HITACHI/KOKUSAI DD-853具有多種旨在保護用戶和環境的安全功能。該爐采用接地故障中斷器和壓力控制閥設計，必要時可自動切斷電源。排氣罩設計為提供幹凈的排氣路徑，而多級過濾系統則捕獲並控制煙霧。該爐還包括一個緊急停止按鈕，當它被按下立即關閉電源。綜上所述，HITACHI DD-853是一種擴散爐及配件，為用戶提供擴散和退火過程的高度控制和性能。該單元包括各種功能和附件,使用戶能夠仔細控制其流程並監控結果。此外,安全功能還確保用戶和環境在擴散和退火過程中受到保護。
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