二手 HITACHI / KOKUSAI DD-853V #293637729 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 293637729
晶圓大小: 8
Vertical diffusion furnace, 8"
Flat zone flat zone aligner
M-826 Wafer counter
CT-204S Ionizer
(2) BL-701 Barcode readers
DM-HB1 AGV sensor
CX-3002B Main controller
PCU-3000 / EC-5202 Exhaust controller
OMRON (CX-1314) PLC Unit
CX-1223 Mecha controller
CX-3202 MFC controller
CQ-1600 Temp controller
DN-150A Gate controller
CX-1317 Torch controller
D4EX05486 Heater transformer
(2) Hard Gas Pattern GFC Panels
Lamp torch
UV Sensor torch
SUS-316L Flange
SUS-316L Cooling flange
SUS-316L Seal cap
SUS-304 Cap base
Teflon Teflon cusion
SUS-304 Cool trap
Acrylic trap drain trap
SUS-304 Auto shutter
SUS-304 Scavenger cover
Teflon exhaust line assy exhaust line
SUS-316L EP Reactor gas line set
Mass Flow Controller (MFC)
MFC No / Gas / Full scale / Unit
MFC 1 / N2-1 / 30.000 / SLM
MFC 2 / O2-1 / 20.000 / SLM
MFC 3 / O2-2 / 0.600 / SLM
MFC 4 / H2 / 20.000 / SLM
MFC 5 / HCL / 0.500 / SLM.
HITACHI/KOKUSAI DD-853V是工業用先進的擴散爐及相關配件。它是一個緊湊、垂直布置的爐，溫度範圍在500-1200 °C，可編程的最高溫度為1150 °C。這種可靠穩定的爐是專門為高通量、低成本和精確熱處理而設計的。HITACHI DD-853V有石墨爐襯裏和陶瓷絕緣反應物區.采用垂直加熱結構，具有三個均勻間隔的大功率輸出區。這允許精確的分布式溫度控制和均勻的熱處理。其先進的腔室設計提供了陶瓷腔內反應物氣體的均勻精細分布，產生了較高的工藝效率。該爐還具有易於使用的高分辨率觸摸屏監控設備，可顯示當前的工藝狀態、運行參數和反應物氣體流量。它還具有可靠、最先進的控制系統，並帶有溫度、過程和響應控制軟件。此控制單元可實現準確的流程設置和控制。此外,KOKUSAI DD-853V包括自動線軸傳輸和排氣管解決方案,以方便高速加速和縮短循環時間。預制材料專用線軸傳輸特性，可以從控制機中激活，最大限度地減少剩余消耗，確保一致的過程可重復性。排氣管解決方案還可以減少空氣汙染和摻雜劑損失，同時在運行過程中節省能源和資源。為進一步確保可靠運行和增強用戶安全，DD-853V配備了安全閥、氣體入口關閉、溫度超調預防和自動超壓釋放。這些保障措施進一步確保了一致、可重復的流程和用戶安全。總之，HITACHI/KOKUSAI DD-853V是一種高質量的擴散爐及相關配件，旨在提供可靠的工藝重復性和一致的結果。其先進的腔室設計、易於導航的觸摸面板監控工具、自動線軸傳輸和排氣管解決方案,以及先進的安全和超壓釋放功能,使其成為高吞吐量、低成本、精確熱處理的寶貴資產。
還沒有評論