二手 HITACHI / KOKUSAI DD-9200GH #9288564 待售

HITACHI / KOKUSAI DD-9200GH
ID: 9288564
晶圓大小: 6"
System, 6".
HITACHI/KOKUSAI DD-9200GH是為半導體加工而設計的擴散爐及配件。該系統是一種直接驅動、自調諧、高溫擴散爐,具有可靠、可重復的退火性能。它能夠達到高達1200 °C的溫度,精確度± 3°C,使其成為加工矽、砷化氙和其他半導體材料的理想之選。該爐設有高性能固態反應堆,能夠快速熱循環,同時保持優良的底物溫度均勻性。其集成的石英管和陶瓷加熱元件保證了最大的能效,為您節省了時間和金錢。該系統還具有可靠、持續可調的供氣功能,確保保持一致、統一、可重復的加工環境。該系統采用了用戶友好的力學和編程功能,簡化了熱過程的設置和操作。交流控制單元提供了一個直觀的界面來控制爐子的運行,包括編程、實時監控、數據記錄、警報顯示、溫度圖和診斷。該爐進一步配備了超溫防護、自動密封等內置安全特性。安全特性保證退火擴散過程安全高效進行。另外,該爐的設計是為了與一系列配件兼容。這包括石英管密封件、蓋、起重夾具、基板支架和適配器。這些配件保證了爐子能舒適地適應一系列的加工要求。總體而言,HITACHI DD-9200GH擴散爐非常適合先進的半導體加工應用。其一貫高效的性能,加上先進的安全措施,確保它是任何半導體實驗室的可靠而有力的工具。
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