二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206 #293636499 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206擴散爐是一種高性能、自動化的氮氣、氧氣或其他氣體熱處理設備。HITACHI DJ-1206的模塊化設計使得實現可變熱處理條件以滿足廣泛的工藝要求，包括高溫退火和氧化。KOKUSAI DJ-1206適合用於各種研究和工業環境，從研究實驗室到半導體和元件制造。DJ-1206具有1,200毫米³工作區、6.0 kW功率輸出和1,500 °C的最高溫度,可有效處理基板而不會使加工室疲勞。HITACHI/KOKUSAI DJ-1206利用多種技術來確保高效的熱處理,並精確控制溫度、壓力和氣體流量。采用先進陶瓷加熱元件的集中供熱系統，提供高效、均勻的熱分配和快速的溫度上升。對於精確的溫度控制，HITACHI DJ-1206可以配合先進的PID閉環溫度控制裝置。擴散泵機和快速氣體效率控制確保了精確的氣體流動，使幾種工藝氣體得以高精度地使用。KOKUSAI DJ-1206設計為在環境條件下運行,能夠在各種溫度、壓力和氣體下運行。通過控制計算機對操作環境進行連續監控，從而實現高效的過程優化和控制。當異常情況或其他因素阻礙過程時,警報工具會發出警告。綜合緊急關機資產有助於預防任何嚴重事故。DJ-1206包含一個集成的、可擴展的機器人手臂模型，該模型支持基板的引入和定位並使基板暴露於該過程中。機器人手臂可以手動操縱，精確控制基板放置，設備配備了一個腔蓋控制系統，在不使用時安全安全地密封爐子。HITACHI/KOKUSAI DJ-1206單元的其他特點包括低溫漏氣檢測機、遠程操作終端工具和配方數據管理資產，方便高效地管理各種基材的處理數據。HITACHI DJ-1206還包括一個直觀的圖形用戶界面,可指導用戶完成各種操作功能,從而提高生產效率和一致的流程結果。該模型非常適合任何尋求精確控制擴散爐的工程師或研究人員。