二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #293630231 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF擴散爐是一種先進的多功能擴散爐，設計用於各種行業。它設計用於各種工藝應用，包括半導體、LED和薄膜沈積工藝。該設備具有高達1250°C的大型可調溫度控制範圍,具有卓越的均勻性,能夠處理多達4英寸的晶圓。它具有極高的能效，20kW額定功率低，確保節能。該爐配備了眾多獨特的特性，使其能夠達到更高的性能水平。它具有自動晶圓交換和端點控制的能力，允許對整個過程進行完全控制。它還具有一個冷卻過程室，通過控制運行溫度和保持溫度一致性來確保溫度均勻性和減少過程熱預算。此外，它還包含一個光發射監測系統，用於測量關鍵工藝參數，並提供氣體成分和輝光放電測量等反饋。該裝置還包括集成註氧裝置（OIS），通過向腔室輸送精確數量的氧氣來改善腔室操作，讓用戶對工藝環境有更大的控制。OIS也有助於減少氧化，保持腔室清潔。此外，該爐還包括一個檢視口和清潔工具，便於樣品觀察和檢修。它還具有完整的SCADA控制,以確保精確、可重復的過程控制和高度可靠的操作。使用集成的數據記錄機,可以輕松記錄和監控有價值的過程數據。HITACHI DJ-1206V-DF擴散爐是一種緊湊可靠的擴散解決方案，非常適合半導體、LED和薄膜沈積應用。它具有較大的溫度範圍、精確的溫度均勻性、較低的額定功率以及許多其他有用的功能,旨在使您的工藝優化更輕松、更經濟高效。