二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #9285059 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF是為半導體器件制造設計的最先進的擴散爐及附件設備。該系統有一個高溫爐，其溫度可高達1206 °C，還有一個擴散室，具有多級真空兼容性。該爐還包括一個允許精確溫度控制的控制器，以及一系列其他功能。HITACHI DJ-1206V-DF由一個主冷卻室和次冷卻器組成，以及一個6區控制加熱器和一個區域熱電偶加熱器，兩者都裝在真空密封反應器中。設備由一個單獨的電源供電,在任何區域發生溫度過高時自動關閉。該機器配備了內置氣體進料機構，允許在操作過程中自動向腔室輸送氣體。供氣可用於制造多種大氣，如氧氣、氮氣、氙氣或其他惰性氣體。HITACHI擴散爐及配件除了自動溫度和氣體控制外，還配備了幾個安全特性。這包括主冷卻室中的開/關開關，確保在打開爐子之前關閉刀具。腔室還包括一個空氣過濾器，確保所有雜質在進入資產前從氣體中除去。該爐還包括檢測熱失控和溫度過高的傳感器，並將關閉模型，以保護組件和防止任何傷害。此外,KOKUSAI DJ-1206V-DF還配備了多種附加配件。這包括用於裝載和卸載基板的晶片卡盤，以及遠程真空控制端口。它還包括一系列外圍設備，如濺射室、渦輪恒星氣化器輔助裝置和射頻薄膜設備，使其能夠輕松地集成到現有的工藝系統中。總體而言，DJ-1206V-DF是一個高效、可靠、用途廣泛的擴散爐及附件系統，旨在滿足半導體器件制造的需要。無論是需要高端生產的擴散爐和附件裝置，還是僅僅是一個基本的設置，這臺機器都是同類中最好的。