二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V #9377252 待售

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V
ID: 9377252
晶圓大小: 2007
Furnace, 12" Process: HTO 2007 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V是一種擴散爐,設計用於半導體器件制造中的各種熱過程。它是一種快速熱處理工具,利用輻射將樣品加熱至高達1400°C的溫度。溫度均勻性通過其多個石英輻射燈保持整個腔室。此外,該室由不銹鋼制成,並配有陶瓷氦氣分配板。這確保了主要氣體的均勻分布和一致的加熱。HITACHI的各種功能DJ-1206V使其成為用戶的理想選擇。自動清潔機制使其能夠在整個過程中有效地保持內部表面清潔。它還可以自動檢測和顯示室內的任何空氣泄漏。擴散爐還包括用於數據收集和監測的接口設備。這包括一個基於Windows的軟件包和一個圖形用戶界面。爐子配有幾個配件,包括供氣系統、壓力傳感器、加熱器和加熱元件。該裝置的設計目的是提供可靠的氣體供應,在操作過程中便於調整設置。壓力傳感器測量腔室內的壓力,以確保它在安全範圍內。加熱器和加熱元件通過使用它們的裝置將熱量從加熱器元件傳遞到基板,有助於保持室內的溫度均勻性。除了內部部件外,KOKUSAI DJ-1206V還包括一臺環境監測機。該工具旨在監測氣體成分或壓力的任何變化或偏差。如果變化超過軟件中設置的邊界,則資產能夠自動進行調整並通知用戶。總體而言,DJ-1206V擴散爐是一種先進而可靠的工具,可以為許多不同類型的半導體器件提供高端熱處理。它可以用於各種工業環境,適用於廣泛的應用。
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