二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #293630241 待售
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ID: 293630241
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Vertical LPCVD furnace, 12"
Quixace I-Aldinna
2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一種高精度、高效和可靠的擴散爐,用於各種半導體應用。它提供具有高端特性和性能的快速、準確的半導體處理解決方案。HITACHI DJ-1206VN-DM設計有各種尺寸的基臺,單臺式真空管爐包括石英管直徑150 mm,最大可達到的真空5 Pa,最高工作溫度1250 °C。這使得它適用於金屬氧化物擴散、退火、焊接、摻雜、金屬沈積和金屬封裝的應用。為方便起見,擴散爐提供了一個易於操作的控制器,帶有大型液晶顯示屏和簡化的控制系統,允許用戶根據自己的應用快速調整工藝設置。它包括一個集成的內部冷卻系統,能夠在高溫下安全使用該設備。此外,該擴散爐采用真空歧管泄漏檢測器、單氣體保形套和真空測量管,以實現最佳的安全性和性能。主要加熱元件均勻地分布在整個管子中,網格易於清潔或更換。擴散爐還具有內置加熱器短路保護、自動壓力控制、過熱安全裝置、綜合視覺報警等一系列防護功能。該爐還配備了紅外溫度指示器,對腔室的溫度提供準確可靠的反饋。該室易於安裝和無維護,不需要額外的系統或設備。此外,不銹鋼結構和外部玻璃視孔增加了系統的壽命,並允許不斷監測腔內的過程。總體而言,KOKUSAI DJ-1206VN-DM擴散爐是半導體加工的一個強大而可靠的選擇。它提供了卓越的準確性和效率、一致的設置調整以及多種安全功能,以確保安全和性能的最高標準。
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