二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9355659 待售

ID: 9355659
Vertical LPCVD furnace, 12" Process: LPCVD Nitride CIM: SECS Wafer transfer handling system FOUP Interface EBARA EST300WN MAT 507BW Scrubber 2005 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一種擴散爐和配件,制造商用來制造高質量的結構和部件。這種最先進的擴散爐具有真空密封高壓密封室和30英寸的工作區域,用於插入部件。鋼架設備由四部分組成:主體、主門、側門和頂門。主體能夠通過1500W盒式加熱器承受高達1000 °C的溫度。擴散的過程開始於形成一個受控的大氣層,它是通過將氣體或蒸氣引入室內而產生的。一旦達到所需的氣氛,基板就被放入腔室。然後將腔室加熱到所需溫度,當腔室冷卻時,氣體/蒸氣和底物之間發生化學反應,從而形成所需的結構或組分。HITACHI DJ-1206VN-DM包含幾個重要功能,旨在提高擴散過程的效率和可靠性。其中包括一個強制空氣冷卻系統,旨在加快腔室的冷卻速度。該單元還利用機械互鎖將主門的開口限制在2mm以下,減少熱量損失,最大限度地減少操作員接觸有害物質。KOKUSAI DJ-1206VN-DM還配備了多種安全功能,包括一個隔離的加熱供氣機,旨在限制易燃氣體濃度。爐子還配有散熱工具,設計用於快速冷卻任何暴露的材料,降低易燃性和爆炸的風險。除此之外,DJ-1206VN-DM還具有用戶友好的控制資產,允許操作員使用可視顯示監視過程。該模型還允許操作員自動切換氣體,從而使擴散過程具有更大的靈活性。HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一種尖端的擴散爐和配件,其特點旨在提高擴散過程的安全性、效率和質量。它為用戶提供了最佳擴散過程所需的所有組件,使其成為尋求可靠高效設備的制造商的絕佳選擇。
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