二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9358282 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一種擴散爐和配件，設計用於工藝開發和制造光電元件、半導體器件和具有亞微米特性尺寸的材料。這種高效、快速加熱的設備有助於消除熱梯度、矽電阻率和其他參數。HITACHI DJ-1206VN-DM是一種垂直式擴散爐，它提供了一種使用高散熱量（GaCl）氣體的高溫高壓（450 Torr）氣氛。它提供高達1300 °C的最高穩定溫度，烘烤周期時間為30分鐘。它還為各種過程提供精確的溫度控制，如沈積、擴散和驅動。KOKUSAI DJ-1206VN-DM專為高產量、低成本運營而設計。其先進的放熱絕緣和冷熔爐結構旨在減少氣體消耗，確保加熱區內的溫度均勻性。結果是效率最優，單位生產成本低。板載觸摸屏面板用戶友好,專為實現操作員的最大易用性而設計。它提供了過程內存、配方管理、溫度記錄和快速配置操作菜單等功能。該系統還可以選擇遠程或本地監控流程參數。DJ-1206VN-DM的模塊化設計允許廣泛的夾具和附件，以及數據記錄和計算機控制接口。其腔室部件由不銹鋼構成，設計為最大產量。有一系列可選的水泵和天然氣管線，以滿足各種工藝和生產需要。該單元包括一臺用於冷卻工藝氣體的氮氣噴口機，以及一個自動氣體凈化循環，以及一個低維護過濾器。這些功能可確保最大安全級別和操作多功能性。高性能的HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM擴散爐旨在提供最佳的產品產量、低的運行成本和最大的安全性。其先進的特點，如卓越的溫度控制，加熱區的均勻性，以及堅固的絕緣設計，以確保最佳的工藝性能。它是物理氣相沈積、高溫擴散和其他加工需要的經濟高效的解決方案。