二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9358305 待售

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM
ID: 9358305
LPCVD furnaces Process: SiN.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM擴散爐是一種用戶友好可靠的機器,設計用於小規模半導體和電子元件加工的批量生產。其統一一致的溫度設置允許精確、高質量的結果,而直觀的用戶界面保證了高效的操作。擴散爐由鋼的外部框架和熱解石墨內部構成。它具有兩層絕緣和內部空氣套和外部鋁空氣隔熱。先進的溫度控制機構依靠專門設計的導葉片和隔熱板來實現整個腔室的溫度均勻性和精度。該爐提供了一個12.6 x 12.6厘米的加工區,有七個工作站開口用於操作,如層間連接、後表面塗層和激光回流。大面積感應器利用碳化矽加熱技術在熱氧化過程中產生均勻的熱量。可調的加熱器關閉時間函數通過控制溫度過渡率來增加吞吐量。擴散爐設有石英感應壓力傳感器,用於精確測量腔內壓力。該系統允許在操作過程中進行實時監控。PID溫度控制機制進一步提高了溫度穩定性和準確性,同時清潔的排氣系統確保了排放合規性。擴散爐除了具有先進的加熱特性外,還可配備一系列配件。其中包括單個晶片裝載臂、溫度傳感器、氣體入口和產品確認燈。為了降低成本和提高效率,HITACHI DJ-1206VN-DM擴散爐是許多行業的理想解決方案。可靠、直觀的施工使其成為一致、優質成果的可靠選擇。
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