二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9400342 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一種主要用於半導體工業的擴散爐和附件裝置。它結合了高真空爐和低真空爐，為氧化、沈積、氮化和吸附等制造過程提供單一的解決方案。與其他擴散爐不同的是，這種模型是一種中型擴散爐，尺寸大約為600mm（w）x 600mm（d）x 600mm（h）。該爐利用石英晶體對特定工藝進行溫度監測和控制。爐的內室由Q型石英制成，在過程中提供出色的導熱性能和溫度一致性。為提高效率和提高最高溫度均勻性，采用吸收式鎳材料襯裏。該裝置還具有多區溫度控制，具有優異的氧化、沈積、氮化和吸附性能。這使得腔室的多個區域可以在不同的溫度下加熱，從而能夠對整個腔室的溫帶進行統一的控制。HITACHI DJ-1206VN-DM還提供了一種使用氮氣或氙氣的大氣控制設備。該系統有助於氣體的均勻混合和防止潛在的汙染。該裝置還包括壓力和溫度監測裝置、緊急聯鎖和低壓報警等多項安全功能。它還包括高溫安全極限的自動重置、背壓控制機、互鎖無閥、應急排氣工具和保溫監測資產。KOKUSAI DJ-1206VN-DM擴散爐是為提高擴散過程的性能和精度而設計的。它是半導體行業可靠可靠的解決方案。其堅固的結構，加上其全面的安全特性和多用途的大氣控制，使其成為任何基於擴散的應用的絕佳選擇。