二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9400343 待售

ID: 9400343
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Vertical LPCVD furnace, 12" Process: Nitride Wafer transfer handling system (2) FOUPs 507 BW Mat scrubber EST300WN Pump 2005 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM是一種堅固的擴散爐,專為精確、高效和高容量的材料熱處理而設計。該單元具有氣體分布和精確溫度控制相結合、降解程度低的大腔室,允許均勻和可重復的材料行為。HITACHI DJ-1206VN-DM的模塊化設計允許在腔室大小和控制能力方面具有靈活性。該裝置的定制選項包括最多三個信號深度傳感器,最大測量量為8 μ m,石英纖維爐(QFID)用於提高溫度控制,氧氣排出泵用於連續精確氣流。自動裝卸系統可確保高效、及時地處理物料,從而實現最大吞吐量,並可能縮短周期時間。此外,擴散爐具有先進的安全特性,保證材料的安全運行.這些功能包括集成防爆設計和傳感器互鎖,以及可關閉和鎖定的可滑動上蓋,以提供額外的保護。通過這些綜合安全措施,用戶可以確保安全的生產環境,最大限度地減少潛在危害。KOKUSAI DJ-1206VN-DM擴散爐還提供卓越的熱性能,為材料提供卓越的均勻性、可重復性和無降解處理。該單元能夠處理高達1,000 °C的溫度,以便於控制和重復處理,並且模塊化設計允許根據需要輕松定制和改進。DJ-1206VN-DM擴散爐是材料大容量熱處理的理想選擇。它結合了特殊的特性、堅固的設計和卓越的散熱性能,能夠提供可靠和可重復的結果,而且材料的降解最小。
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