二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377454 待售

HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN
ID: 9377454
晶圓大小: 12"
Diffusion furnace, 12" Type: SiN.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN是一種擴散爐和附件套件,設計用於光學薄膜的快速熱擴散和快速熱處理。該設備的設計目的是提供高度精確和高效的擴散和快速熱過程,同時支持各種材料和結構。HITACHI DJ-1223VN擴散爐具有三區設計,包括分階段、擴散區和冷卻區,可獨立控制溫度。該爐最高可加熱1500 °C,並配有紅外發射加熱器,以達到最佳性能和精度。傾斜的石英管允許有效和均勻的熱量分布在整個腔室,其熱特性確保每個擴散批次的溫度和可重復性均勻。爐子還裝有一個可以精確測量溫度的高溫計設計,精度± 1°C。它還配備了一個數字編程系統,允許用戶對一系列擴散和快速熱過程進行編程,包括退火、氧化和氮化。此外,該爐還采用自動門設計,無手動操作,方便安全的操作和維護。KOKUSAI DJ1223VN擴散爐及附件套件還提供各種原位計量工具,如光學監視器和CoolFlood等離子體源。光學監視器測量各種參數,包括反射率、透射率和薄膜厚度測量(FTM)。在快速熱處理和擴散過程中,CoolFlood等離子體源有助於控制薄膜。最後,HITACHI/KOKUSAI DJ1223VN擴散爐和附件套件還包括一個集成的幹真空單元以及堅固的保溫材料,以支持可重復和可靠的熱工藝。此外,該機器還通過了CE監管標準認證,確保了其操作中的卓越質量和安全性。簡而言之,HITACHI DJ1223VN擴散爐和附件套件是光學薄膜應用快速熱擴散和快速熱處理的理想工具,具有可定制的設置和可靠的性能,可提供高精度結果。
還沒有評論