二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377455 待售
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HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN是一種擴散爐及其相關配件,設計用於半導體晶圓的後處理。擴散爐內部的大氣和溫度受到嚴格控制,以確保準確和可重復的結果。溫度可設置為1200 °C,大氣可設置為網格或金屬有機分解氣體。該爐還可用於摻雜、氧化和退火過程。HITACHI DJ-1223VN的設計具有多區網格結構和獨特的氣體循環系統,為爐內提供理想甚至均勻的溫度分布。內爐壁也塗有聚酰亞胺樹脂,以改善熱發射。這有助於減少晶圓中心附近的溫度變化,並防止來自反應室的汙染。爐子還設有雙門,以使其與外界環境隔絕。這提供了一個遠,優越的密封性和絕緣比典型的單門設計。排氣系統還配備了機械助推器,以確保廢氣被牢牢地排出。KOKUSAI DJ1223VN由220V/1Ø 3KW電源提供動力,具有五步計時器,可調節安裝和坡道速率。可通過外部控制器將溫度精確設置為0.1°C以內。還納入了過載防護、氣體泄漏檢測、氣閘防護功能等安全部件。爐子配有樣品加熱器、氣體控制硬件、帶過濾器的面板廢氣、氣體擴散控制器、電源、電阻加熱器和其他附件。HITACHI DJ1223VN為半導體後處理中使用的擴散爐提供了優異的性能。對大氣和高溫的嚴密控制,使其成為興奮劑、氧化、退火等應用的理想選擇。多區柵格結構、聚酰亞胺樹脂塗層墻、雙門設計等都是增加其可靠性和安全性的特點。此外,可調節計時器和0.1°C的溫度精度可確保結果始終準確且可重復。
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