二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377457 待售

HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN是用於制造半導體器件的先進擴散爐。它是革命性加熱和冷卻技術的結合，同時對加工條件進行精確控制。該爐具有獨特的高輻射率磁化器和超導互鎖磁化器結構，提供了極好的熱電線性和均勻的均勻熱分布。這是通過優化的磁感器/耐火材料組合實現的，該組合最大限度地利用了高頻能量。該爐具有極好的靈活性，具有多種操作模式，如EFEM和EFEM+LP模式，以適應各種工藝配方。它配備了一個氣體選擇閥，允許精確和控制氣體的混合物。它還具有用於溫度和氣體壓力控制的主動閉環。爐的可編程控制器具有自動調諧、自動清洗、自動通風、真空泵控、正時等多種控制功能。控制器還支持智能診斷功能,便於自動調試和故障排除。當需要批處理時,此功能特別有用。擴散爐具有易於維護的特點,具有易於交換的陶瓷框架.還集成了自潔機構，便於維護。此外,它還具有獨特的散熱系統,可最大程度地減少熱點的出現。HITACHI DJ-1223VN帶有特殊的傳感器和安全裝置，如用於檢測氣體泄漏的壓力傳感器、用於監測熔點的溫度傳感器以及用於確保惰性大氣的惰性氣體泄漏探測器。它還具有絕緣保護裝置和自動停止沖水雙重保護裝置，以防止觸電的發生。KOKUSAI DJ1223VN擴散爐還具有良好的再生性和可靠性。它具有先進的諧波補償功能,以防止操作過程中的噪聲幹擾,並采用交叉調節技術來確保整個操作區域的熱梯度均勻性。此外，它還有一個壓力控制系統和快速密封系統，使壓縮機能夠繼續運行，直到過程完成。綜上所述，DJ1223VN是一種非常先進可靠的擴散爐，具有良好的熱控制、均勻性和可靠性。它還提供卓越的安全特性以及對加工條件的精確控制，使其成為半導體器件制造的理想選擇。