二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-1226V-DF Quixace #293667381 待售

HITACHI BJ-1206V-DF是KOKUSAI Electric Incorporated的擴散爐及相關配件。它是為需要擴散層的研發（R&D）應用而設計的。該BJ-1206V-DF是一個垂直加熱的單晶圓爐，由一個帶有雙石英管的加工室、石墨敏感器和加熱器組成。設計用於濕式或幹式氧化、擴散摻雜、退火等研發應用。該BJ-1206V-DF利用高溫加熱元件，以極好的溫度均勻性達到高達1250 °C的溫度。它配備了CVD氣體輸送系統和六英寸的加工室。加熱溫度在+/-3°C內的均勻性很容易達到。該爐還配有過溫保護系統和氣體噴出系統，防止過熱，同時確保高效運行。該BJ-1206V-DF的特點是對氣體流動和組成進行精確控制，以改善擴散層的均勻性。它包括一個易於操作的用戶友好觸摸面板PC與數字顯示器和定量過程控制的可編程計時器。它還提供加熱器、加工氣體、感光器和冷卻風扇的手動和自動操作。該BJ-1206V-DF設計為與各種工藝的N2O、Ar或O2等多種工藝氣體兼容。它還包括用於穩定運行的氣泡式幹燥機和用於監測工藝溫度和壓力的石英晶體微平衡（QCM）傳感器。此外，該爐還配備了數據記錄儀，用於監測過程氣體流動以及溫度和壓力。總體而言，HITACHI/KOKUSAI BJ-1206V-DF是用於研發應用的可靠、高精度擴散爐及相關配件。通過在高達1250°C的溫度下工作,並具有出色的溫度均勻性,該BJ-1206V-DF為擴散層的處理提供了可靠的性能。該機器的用戶友好的PC界面和可編程數據記錄器能夠實現精確的操作和定量的數據采集。