二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H #293811585 待售

HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H
ID: 293811585
晶圓大小: 6"
Vertical Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) furnaces, 6".
HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-H是一種擴散爐和配件,設計用於生產精確、優質的微電子和顯示器。它提供了卓越的可靠性和過程控制與快速熱控制和多區,石英管結構。它配備了先進的聯鎖系統安全功能,防止任何未經授權進入設施。擴散器設計為可重新配置,以便快速簡單地進行生產更改。HITACHI DJ-802V-H配備了兩個由兩個PID控制器控制的有源氣區,用於優化工藝溫度控制。它還可以安裝一個下限控制器,以確保適當調節工藝溫度。擴散過程可以很容易地監測和精確調整與整體,超穩定的壓力傳感器。主通道還設有一個側臂端口,可連接多達四條額外的氣線。KOKUSAI DJ-802V-H具有增強氧氣和氮氣擴散的高溫退火能力,而氣區適合沈積、氧化、還原和蝕刻。高效的強制熱風冷卻系統可防止熱幹擾,保證過程溫度穩定。寬敞的氣體走廊允許最多四條額外的氣體管道的外部連接。DJ-802V-H提供了一些高級功能,例如高級故障診斷功能和改進的軟件控制系統。此外,它的直觀圖形用戶界面提供精確的監控,設置和控制參數.它是CE和UL認證的最佳安全性.該擴散爐還具有高效的UL保形塗層電源單元和30升不銹鋼滅火室保護功能。HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-H是一種可靠高效的擴散爐和附件,用於生產優質微電子和顯示器。它提供精確的過程控制、多區域構造、先進的安全功能、高溫退火功能和用戶友好的界面。HITACHI DJ-802V-H具有最先進的元件和特點,是精密生產高質量微電子的理想選擇。
還沒有評論