二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V #293764658 待售
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ID: 293764658
優質的: 1996
Furnace
Heater
Process chamber
Cooling water unit
Scavenger
Temperature controller
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Temperature controller
Power box
Rapid cooling unit
Pump box
Gases:
N2
SiH4
PH3
CIF3
Heater power supply: 10 AC, 200 V, 200 A
Controller power supply: 10 AC, 100 V, 30 A
1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-802V擴散爐是一種緊湊、節省空間的擴散爐設備，旨在提供精確的溫度控制和頂級產品質量。該爐具有強大的LPCVD（低壓化學氣相沈積）氣體系統，能夠對流量、壓力、溫度和停留時間進行各種定制控制。最先進的設計還包括加熱氣體輸送單元、加熱冷卻和真空系統以及集成冷卻選項。溫度可以用各種精密溫度裝置遠程控制。HITACHI DJ-802V是一種具有多種安全特性的強大擴散爐.它有一個特殊的熱檢測機，在到達擴散器出口之前阻止加倍板超過溫度極限。該爐還有一個特殊的自動氣體關閉工具，可以降低室內危險氣體堆積的風險。該爐的熱區采用單一石英管吸收器元件設計，以實現最大的熱穩定性和精度。此外,該爐還包括一個用於進一步控制資產氣壓和溫度的隔離閥.爐體結構采用重型金屬壁和厚厚的絕緣材料設計，以保護內部部件免受外部熱和電磁幹擾。內部真空區采用雙門模式，方便產品進出。還提供雜質檢查,可快速反饋設備操作員的性能和產品保證。包括一個變頻驅動器，用於加熱元件的精確和平穩的操作。KOKUSAI DJ-802V擴散爐也設計為低維護，易於安裝和清潔。DJ-802V擴散爐適用於陶瓷和玻璃材料加工等多種應用。由於其頂尖的熱控能力，效率很高。此外，HITACHI/KOKUSAI DJ-802V還提供各種可選組件和附件，如氣體凈化歧管和氨氣體註入系統，以涵蓋更廣泛的應用。這些附件使設備的運行更加順暢，擴散過程更加有效。總之，日立DJ-802V擴散爐是一種高質量、高性能的設備。它非常適合中型和大型生產需求，並提供一致和可靠的結果。憑借其安全特性和先進的溫度控制能力，該爐機組可用於廣泛的工業和科學應用。
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