二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-825V #9294270 待售

ID: 9294270
晶圓大小: 8"
Furnace, 8" With load lock Process: Poly CX-3000 Controller.
HITACHI/KOKUSAI DJ-825V是一種用於半導體制造的擴散爐及附件。它具有緊湊的設計,能夠控制氧化物和氮化物擴散到電子器件。它擁有一個緊湊的機身結合了75毫米寬的前置裝載卡帶。溫度控制高達1,200 °C,這種擴散爐適合小規模物品的擴散過程。實際爐裝有一個能容納最多兩個盒式磁帶的單一大氣箱。粗加工泵控制氣流通過擴散爐,以確保均勻擴散.腔室可以用氮氣或其他惰性氣體進行氣體凈化,同時保持較高的熱處理水平。內置的質量流量控制器即使在低溫條件下也能穩定氣流,可以在全計算機控制下操作,允許精確控制和反饋。然後將系統連接到真空泵進行維護。HITACHI DJ-825V擴散爐由高效加熱器供電,使用200 VAC、50/60 Hz的單相交流輸入。當達到所需溫度時,加熱器會自動關閉以節省電源。該爐還設有一個「加熱速率監測儀」,它有助於控制加熱到反應溫度的速率,防止點接觸熱失控現象。此外,該機器還配備了高級安全功能,包括過溫關閉、氣體關閉和接地故障報警器/聯鎖,即使加熱器與電源斷開連接也是如此。此外,使用非分層絕緣材料消除了低溫熱損失的風險。為便於安全操作,KOKUSAI DJ-825V擴散爐配備了簡單易用的控制面板。高級多輸出計時器和自動塞子都包括在內。總體而言,DJ-825V擴散爐和附件是半導體工業小規模工藝的強大熱處理工具。憑借其卓越的節能、安全和可靠性,獲得卓越的電子效果至關重要。
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