二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-833V #9186179 待售
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ID: 9186179
晶圓大小: 8"
Furnace, 8"
Open cassette
Mainframe
Utility box
Missing parts
Process: Poly H8.3.
HITACHI/KOKUSAI DJ-833V是專門為半導體工業設計的擴散爐及配件。它是一種高端專用設備,可錯綜復雜地精確控制所加工材料的溫度,並確保可靠、安全和可重復的性能。其獨特的設計允許每個元件之間的最佳間距,從而可以對熱環境進行卓越的控制。HITACHI DJ-833V設計用於在高溫下處理半導體和電子設備等材料,消除任何雜質。它是一種垂直型爐,內壁和前壁采用操縱桿操作,可順利裝卸。縱向型表示整個腔室相對於裝卸門平行定位。這種擴散爐的結構有助於防止加工材料的汙染,並減少加工氣體對腔室的幹擾。該爐配備了先進的降流設備,能夠有效地保持最佳的剖面氣體濃度,從而促進非常穩定和可重復的熱均勻性。室內溫度通過先進的數字FX系列溫度控制器進行高精度調節,僅此一項就確保了對室內溫度穩定性的嚴格控制。溫度控制器還能夠通過控制熱高壓區域的空氣構成來保持穩定的氣流,以實現更好的均勻性。KOKUSAI DJ 833V還采用了擺式高效直接加熱器,采用石英或石英塗層鎢絲,可產生精確且可重復的熱過程。這種加熱器由於其出色的均勻性和快速的回收時間而受到強烈推薦。它還受到監視系統的保護,該系統可以檢查溫度和加熱器線圈狀態。加熱器內部采用真空壓力機Ceramics絕緣,以確保保持恒定溫度並在低噪音水平下運行。總體而言,HITACHI/KOKUSAI DJ 833V是一種高端擴散爐及附件裝置,設計用於可靠、準確地處理半導體、IC芯片等材料。其細膩而特別設計的結構,結合其先進的溫度控制機,可以在高達1200 °C的溫度範圍內實現精確且可重復的性能。
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