二手 HITACHI / KOKUSAI DJ-833V #9186180 待售

ID: 9186180
晶圓大小: 8"
Furnace, 8" Open cassette Main frame Utility box TEOS Box Process: TEOS.
HITACHI/KOKUSAI DJ-833V是一種擴散爐和附件,旨在為所有應用提供可靠和精確的過程和監控控制。它具有600°至1500 °C的寬工作溫度範圍,允許快速的溫度變化和可重現的結果。它被設計為通過快速加熱和冷卻能力在其室內提供均勻的大氣,其優越的溫度均勻性提供了出色的擴散能力。HITACHI DJ-833V的智能過程控制設備具有多種預置和可定制的程序,旨在優化熱過程和簡化操作。此外,該系統還包括一個具有雙模特性的專門氣體流量監測儀,可準確控制精確的氣體濃度和流量。大腔室,以其五邊形的內部石英設計,能夠容納多達四個可堆疊的工藝晶片,並且可以將手動晶片傳遞機構集成到單元中,方便晶片處理。該機還具有高效、低噪聲的強制冷卻功能,確保整個腔室的溫度環境均勻。KOKUSAI DJ 833V也是為方便維護而設計的。它包括一個用於腔壁、底部和加工管的工具清洗程序,資產可以通過使用額外的程序更新套件進行升級。此外,該模型還包括一個最高級的過程監測設備,該設備結合了傳統系統和現代數據記錄技術,以確保一個穩定、可靠的過程。總之,DJ-833V是一個先進的擴散爐和附件設計,以提供無與倫比的精度和完整的過程控制。其優越的溫度均勻性、過程控制系統、較大的腔室尺寸和易於維護,使其成為所有過程和擴散應用的理想選擇。
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