二手 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620 #9374936 待售
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HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620是一種先進的擴散爐,具有廣泛的相關配件。該爐專為使用高溫低壓工藝對工業基板進行退火、清潔和鈍化而設計。它非常適合各種應用,如半導體制造、冶金和金屬加工。CX-9620的擴散室尺寸為75.2 x 11.8",為廣泛的工業、消費和商業應用提供了一個大的基板區域。該室進一步配備了高溫絕緣設備、高效空氣加熱器以及氫氣和氮氣連接。HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620還具有水平、底部安裝的ID風扇,可在擴散室內提供低壓操作和均勻性加熱。CX-9620的控制器經過專門設計,可實現精確的溫度控制和眾多可定制的操作參數。它還具有一個自動化的過程控制系統,利用壓力傳感器和氣體傳感器來維持單位的完整性和整個擴散室溫度的均勻分布。控制器進一步確保安全高效的操作,包括互鎖功能,以及開路/短路保護和過熱保護電路。HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620還具有多項安全功能。它具有自動過熱限制器/過熱截止裝置,以及在溫度超過預定設定值時關閉操作的過溫監視機器。此外,CX-9620還配有安全盤和排氣口,以保護人員不會直接接觸加熱的部件。除了腔室和控制器外,HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620還配有各種必要的配件。該單元包括一個用於將基板固定到位並確保每個基板表面加熱均勻性的板式組件。此外,它還具有各種樣品支架、crucibles和基板支撐,非常適合各種樣品類型。此外,CX-9620還配有電源線、煤氣線和專門的設備安裝和維護工具。總體而言,HITACHI KOKUSAI Electric CX-9620擴散爐是工業基板退火、清潔和鈍化的理想解決方案。其強大的設計和各種各樣的配件使精密控制具有卓越的安全性和可靠性。
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