二手 HITACHI / KOKUSAI V-3(J3) #9191591 待售

HITACHI V-3（J3）是為高產效率和先進的高質量擴散而設計的擴散爐。它具有優異的處理性能、精確的溫度控制精度和可靠性。它非常適合生產光電子、半導體晶片以及其他各種需要對擴散過程進行精細控制的產品。該爐采用創新的垂直中心線驅動的熱墻結構，減少了熱梯度，提高了爐內的熱均勻性。V-3（J3）配備了獨特的壓差控制系統，旨在提供溫度、壓力和其他操作範圍的穩定性。這種控制系統有助於最大限度地提高過程中最脆弱的處理結果。V-3 （J3）還具有一個三相預熱室，當晶圓進入爐子時，它可以充當預熱器。這允許更均勻的擴散溫度在整個基板，導致更好的產量和更高的吞吐量。V-3 （J3）的用戶友好設計允許在沒有技術人員的情況下進行簡單的設置和操作,從而實現更高的吞吐量和更少的時間和精力浪費。此外,OLED觸摸屏面板還提供用戶友好界面,方便地訪問控制設置和進程。V-3 （J3）具有高性能絕緣材料、兩級低壓鼓風機和冷卻風扇,可實現最佳效率和加工穩定性。先進的安全功能包括過溫報警器和防止意外加熱事件的安全電路。這種高性能擴散爐的設計符合高容量擴散加工要求和嚴格精度的生產環境需求。KOKUSAI V-3 （J3）的易用性、可靠的性能和高質量的擴散,非常適合各種行業和應用。