二手 HITACHI / KOKUSAI Vertex DD-823V #9395699 待售

HITACHI/KOKUSAI Vertex DD-823V是為大批量生產半導體而設計的最先進的擴散爐，提供先進的溫度控制和工藝均勻性。這款多功能設備配備了一系列配件，以優化性能並實現針對特定應用的定制。HITACHI Vertex DD-823V的核心是其先進的加熱系統，利用輻射、傳導和對流加熱的組合，在整個過程室中實現精確、均勻的溫度分布。這確保了半導體晶片的熱處理一致，從而實現了高質量的器件制造，而電氣性能的變化最小。該爐能夠處理各種工藝氣體，允許廣泛的擴散過程，如氧化、退火和離子註入。氣體輸送裝置設計用於精確控制流速和混合比，確保準確的摻雜剖面和保形擴散層。KOKUSAI Vertex DD-823V具有垂直石英管配置,最大限度地提高晶圓吞吐量,最大限度地減少占用空間要求。該工藝室設計方便晶片裝卸，采用機械臂機械，提供溫和的操控，防止晶片破損，減少顆粒汙染。為了加強過程監測和控制，該爐配備了先進的溫度控制工具，為溫度均勻性提供精確的設定點編程和實時反饋。該資產還具有用於監控過程氣體流量、壓力水平和晶圓溫度的集成傳感器，以確保過程條件一致。為了進一步增強工藝靈活性和定制，Vertex DD-823V可以配備一系列配件，如額外的氣線、氣相外延室和快速熱退火模塊。這些附件使用戶能夠根據特定的工藝要求定制模型,並擴展其功能以適應未來的技術節點。在維護和可靠性方面,HITACHI/KOKUSAI Vertex DD-823V是為方便操作和長期性能而設計的。該設備具有自動清潔例程、自我診斷功能和遠程監控選項,可最大程度地減少停機時間,並在大批量生產環境中優化生產效率。綜上所述,HITACHI Vertex DD-823V擴散爐是一種高度先進且用途廣泛的半導體制造工具,通過一系列附件提供精確的溫度控制、均勻的工藝分配和定制選項。KOKUSAI Vertex DD-823V具有強大的設計、先進的功能和易於操作的特點,是大容量半導體制造應用的可靠解決方案。