二手 INDUCTOTHERM Power-Trak 75-30 R #9400070 待售

INDUCTOTHERM Power-Trak 75-30 R
ID: 9400070
Furnace 75 kW.
INFORTTOTHERM Power-Trak 75-30 R是一種最先進的擴散爐,專為滿足現代半導體和微電子器件制造工藝的嚴格要求而設計。它是一種先進的設備,允許用戶在擴散和其他制造過程中精確控制和監控溫度、壓力和氣流。在25°C至1200°C的穩定溫度範圍內,Power-Trak是制作高性能半導體芯片、集成電路和其他微電子器件的理想選擇。該系統配備了一個堅固的30 kW射頻發電機,對過程提供非常高精度的控制,以實現卓越的可重復性和準確性。該單元還包括快速響應石英管熱電偶、最先進的數據記錄軟件以及圖形用戶界面,使控制和監控過程變得極為容易。Power-Trak還采用了集成式真空機和專用機械支持的渦輪分子泵,提供5.0 x 10E-7 Torr的極限真空。為了保證均勻準確的加熱,在高精度擴散船上安裝了精確設計的磁感器,由射頻發電機驅動。根據應用程序的不同,可以通過手動或自動操作來控制和監視感知器。Power-Trak 75-30 R也是INFORTTOTHERM系列中用途最廣泛的擴散爐,有多種選項可供自訂工具到特定的應用。其中包括高溫擴散的特殊設計、快速變溫應用、高劑量植入物以及先進材料研究。資產還可以通過質量流量控制器、高壓氣瓶、多個供熱區等附加組件輕松升級。總體而言,INFORTOTHERM Power-Trak 75-30 R是一種先進可靠的擴散模型,可提供卓越的溫度和壓力控制、準確的數據記錄以及廣泛的定制選項。是大容量半導體和微電子器件生產以及材料研究和先進工藝開發的理想選擇。
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