二手 IPS 300 CA #293614963 待售

IPS 300 CA是一種來自Nederman的擴散爐及附件設備。它執行與半導體器件制造中使用的退火和擴散過程有關的多種功能。300 CA系統是一種溫控水平爐，帶有減小的燃燒室，用於執行退火和擴散過程。該單元是雙帶型，在晶圓尺寸和配方生成方面提供了廣泛的靈活性。它旨在優化速度、效率和可重復性。IPS 300 CA機有兩個不同的加熱區域-預熱區域和擴散區域-以確保整個過程的最佳條件。預熱區確保所有工藝氣體在到達擴散區之前都處於所需的集合點。這不僅有助於底物原子的成功擴散，也有助於保持一致的導熱系數。預熱區還為氣體減少排放和減少室內冷凝的可能性提供了充足的時間。300 CA還具有卓越的溫度和壓力感應功能,包括自動化過程控制系統,這有助於確保在整個擴散過程中保持最佳過程條件。此外，一個垂直安裝的石英管石英管源，帶有加熱元件和陶瓷屏蔽，有助於確保晶圓基板上的均勻沈積。石英管源還允許快速溫度上升和冷卻的過程。IPS 300 CA工具還具有多種安全功能，以提高安全性和防止任何類型的操作員失誤或事故。它的雙鎖保護保證了熔爐在壓力下氣體擴散過程中的最大安全性。此外，該資產還有一個自動過壓關閉裝置以及一些固有的安全措施，有助於防止由於可燃氣體的存在而引起的任何種類的災難性爆炸。總體而言，300 CA模型是需要復雜退火和擴散過程的半導體器件開發過程的理想選擇。IPS 300 CA設備以其堅固可靠的設計，為基板擴散退火提供了一種安全高效的方法。