二手 KE DD-1223V #9381846 待售
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ID: 9381846
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
Furnace, 12"
Process: Pyro
(100) Process wafers
Process type: Oxide
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Boat operation: 1 Boat
(25) Carrier slots
Heater type: D4EX16975-1
Gases: N2, O2, H2, HCl
Hard Disk Drive (HDD)
System control:
CX3002C Main controller
Operation screen: Touch screen
Gas flow chart (Front, rear)
CQ1600 Temperature controller
Pressure control: EPV100-AW
Controller power: Ø1 208V 150A
Heater power: Ø3 208V 350A
Tape heater controller: SR Mini
Torch
Process gases:
Gas name / Type
Gas 1 / N2 FC-D986Y-BF 30SLM
Gas 2 / N2 FC-D986Y-BF 50SLM
Gas 3 / O2 FC-D986Y-BF 20SLM
Gas 4 / O2 FC-D985Y-BF 5SLM
Gas 5 / H2 FC-D986Y-BF 20SLM
Gas 6 / Hcl FC-D985Y-BF 0.5SLM
Gas 7 / N2 FM-D866Y-BF 10SLM
Gas 8 / N2 FM-D866Y-BF 5SLM
Gas distribution system:
Basic style: FUJIKIN IGS
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
FUJIKIN Manual valve
FUJIKIN Air operated valve
AP TECH Regulator
MFC (Maker, model): AERA
Exhaust distribution system:
APC EPV-100
Wafer / Cassette handling:
(16) Cassette storages
Cassette in / Out port
Cassette handling robot
Wafer transfer type: 1+4
Fork material: Ceramic
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
D4EX16975-1 Heater
Spike T/C
Overtemp protect T/C
Door interlock
Exhaust system:
Heater exhaust
Gas box exhaust
Process exhaust
ETC:
Handy terminal
Manifold assembly
Cap base assembly
Tube setting part assembly
Missing parts:
Scavenser EXH MS3 Sensor
Torch TC
2001 vintage.
KE DD-1223V擴散爐及其配件是一種多用途、溫度控制的電烘焙爐設備，設計用於科學和工業研發。它具有高溫能力、寬廣的溫度範圍、從200°C到1000°C的微細增量控制以及高達24 瓦/cm2的連續輸出,為許多工業加熱過程提供可靠的性能、效率和安全性。該單元具有緊湊的外殼和安全、絕緣的設計，便於安裝和維護。一個精確的數字溫度控制器與PID控制確保一致和重復加熱操作。烤箱采用雙壁礦物絕緣材料，具有良好的溫度均勻性和高能效。該裝置采用獨特的「開門」式設計，便於裝卸被加熱部件以及維修和維護系統。該腔室設計用於擴散過程，直至並包括焊接和焊接。車門采用獨特的「旋轉式」設計,便於使用和增加靈活性。整個單元采用高檔材料制作。各種熔爐配件可供DD-1223V，包括石英管支架和石英管，以便進行精確的石英測試。還可以使用多種多樣的crucibles和菜肴，溫度最高可達1000 °C，使得進行各種樣品制備和分析過程成為可能。附加功能包括雙窗式開門機，配有手動扭矩旋鈕方便檢修，以及可調節、PID控制的溫度設定工具。KE DD-1223V擴散爐及附件是許多工業和科學加熱過程的理想解決方案,提供無與倫比的性能、堅固的結構和可靠的溫度控制。它非常適合測試、預處理和分析過程，涉及各種金屬和合金，以及石英、瓷器和陶瓷。由於其易於安裝的設計、高效的絕緣、精確的數字溫度控制器以及各種附件,DD-1223V是任何擴散過程的強大解決方案。
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