二手 KE DD-823V #9364541 待售
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KE DD-823V擴散爐是一種功能強大、可靠、堅固的沈積裝置，設計用於高容量和選擇性面積的半導體晶片加工。它利用獨特的脈沖動態擴散加熱設備，為PECVD、CVD、快速熱退火和介電沈積等多種工藝提供均勻的高溫加熱。DD-823V還配備了改進的垂直驅動電動機，能夠精確控制多達八個水平安裝的盒式裝載門。此功能為不同流程之間的快速過渡提供了最大的靈活性。該爐還包括一個三向安全開關系統，用於監控盒式磁帶、腔室和蓋子溫度，以確保安全和可靠性。此外,還對最高腔室溫度進行了編程,以滿足工藝要求。KE DD-823V的集成控制單元提供精確的過程溫度控制和人性化操作。它還配備了一個過程控制器和安全監控器，兩者都內置傳感器，以及可編程報警和狀態功能。可互換氣體板控制加熱區，以實現更好的腔室均勻性。DD-823V還具有觸摸屏圖形用戶界面,可以快速、方便地訪問處理參數。KE DD-823V還具有創新和用戶友好的維護功能。其獨特的自我監測能力能夠對異常狀況作出快速反應，並能夠進行無幹擾的維護和持續監測艙室狀況。該裝置還配有可移動氣體面板，用於定期清洗和檢查。爐子還配有一個短循環門，以便能夠快速更換零件，不受幹擾。此外，該爐可以手動或自動方式操作，因此可以很容易地進行調整，以滿足任何工藝要求。綜上所述，DD-823V擴散爐是一種功能強大且可靠的機器，可提供過程與精確區域控制之間的快速過渡。它配備了多功能控制機、模塊化燃氣面板以及易於使用的維護功能。該模型是高容量和選擇性面積半導體晶圓加工的一個很好的解決方案。
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