二手 KOKUSAI / BTI Apogee II+ #293651754 待售
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KOKUSAI/BTI Apogee II+是為制造先進半導體器件而設計的最先進的擴散爐及配件設備。它具有高端熱控制系統，使用戶能夠在擴散過程中精確管理溫度。先進的溫度控制單元允許在幾分鐘內達到高達1350°C的溫度。該機還具有廣泛的動態範圍，能夠快速加熱和冷卻各種材料。該工具還配備了高效氣體輸送資產，用於蝕刻和CVD等氣體輸送過程。該模型帶有幾種高級工具，如擴散過程監視器和Decaperf Plus控制器。擴散過程監測儀可實時測量基板溫度和氣體流量，從而實現擴散過程的實時優化。Decaperf Plus控制器是一種自動化設備，用於在整個擴散周期中連續監控溫度剖面。設備還包括一個具有集成晶片支架和晶片夾緊單元的自動晶片傳輸系統。該機設計用於處理多種基材，可容納多達8英寸的晶圓。它還有一個先進的多區加熱工具，使用戶能夠精確控制工藝室不同區域的溫度。該資產還具有改進過程控制的真空模型以及增強安全性的真空保護設備。它還附帶了各種配件，如氮氣管線，這使得氮基蝕刻工藝得以操作。BTI Apogee II+是半導體器件制造和先進擴散工藝的理想系統。它提供了出色的溫度控制和氣體輸送能力，使各種過程能夠以安全、高效的方式進行。此外，其先進的模具和自動晶片轉移，加上其多區加熱裝置和先進的真空保護，可以幫助確保所有工藝都能正確完成，對暴露的基板造成的損壞風險最小。
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