二手 KOKUSAI CQ1710 TC#1 #293597881 待售

KOKUSAI CQ1710 TC#1是為制造和研究半導體基板而設計的專用擴散爐及其相關配件。配備了高溫爐、頂裝熔爐、手動和電力分區熱源、氣泡、真空等一系列特點，可用於摻雜、SiGe生長和氧化等高精度應用。KOKUSAI CQ1710 TC #1擴散爐的最高溫度為1700攝氏度（3,092華氏度），溫度上升速度高達每小時80攝氏度。它由耐用的石英纖維和不銹鋼制成，可實現最大的隔熱和低功率。其獨特的氣體註入設備確保了在基質水平註入的氣體的均勻性，而泡泡功能則允許惰性氣體以設定的流量冒泡進入系統。KOKUSAI CQ1710 TC#1還包括一個自動化的頂端裝填的crucible單元和一個手動和電源控制的熱源。頂端裝載的cruceble機設計為自動化基板裝載和轉移到加熱的腔室。手動和功率控制的熱源為擴散、氧化、沈積和生長等一系列過程提供精確和精確的溫度控制。該機還具有一系列附件和配置，以容納各種基板，並允許不同的操作參數，如氣流和射頻功率水平。其中包括功率調節排氣、用於觀察基板的工藝監測儀、用於監測固相和液相組成的多元素檢測器、用於熱測量的熱電偶、手動和自動氣體氣泡以及用於處理基板載體和氣體供應的強度控制面板。KOKUSAI CQ1710 TC#1是一種用途廣泛、可靠的擴散爐，非常適合研究和設備制造。憑借其先進的頂端裝填crucible以及手動和電源控制的熱源，它提供了一系列能夠處理各種材料的加工參數。它采用優質材料制造,可確保最大的隔熱和最小的功耗,是用於要求苛刻的半導體應用的理想儀器。