二手 KOKUSAI CX-3000 #293762955 待售
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ID: 293762955
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Diffusion furnace, 12"
P/N: DJ-1223VN
Process: ALD SIN
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208 V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase
2006 vintage.
KOKUSAI CX3000是一種高度先進的擴散爐設備,專門為半導體制造行業中的半導體晶片的精確、均勻熱處理而設計。該系統配備了一系列創新功能和配件,確保在各種大批量生產環境中的最佳性能和可靠性。KOKUSAI CX-3000的核心是其最先進的爐膛,該爐膛能夠達到並保持高達1200攝氏度的高溫,並具有非凡的溫度均勻性。該爐室由高純度石英材料構成,具有優異的熱穩定性和耐化學反應性能,保證了加工晶片的完整性。為方便晶片載體裝卸到爐膛,CX3000配備了先進的自動晶片處理裝置。這臺機器結合了先進的機器人技術和精密機制,能夠使晶圓傳輸操作平穩高效,最大限度地降低晶圓在裝卸過程中斷裂或汙染的風險。除了卓越的熱性能和晶圓處理能力外,CX-3000還配備了先進的氣體輸送工具,能夠精確控制爐膛內的工藝氣氛。這種氣體輸送資產包括質量流量控制器、壓力調節器和氣體混合能力,允許精確供應特定熱處理應用所需的各種工藝氣體。KOKUSAI CX3000還配備了高度靈敏的溫度控制模型,實時監控和調節爐溫,以確保晶圓表面的加熱和冷卻輪廓均勻。這種溫度控制設備利用熱電偶和反饋回路來保持對爐膛內熱梯度的嚴格控制,最大限度地減少晶圓特性的變化,並確保一致的工藝結果。此外,KOKUSAI CX-3000具有用戶友好的界面和軟件控制系統,使操作員能夠輕松編程和監控熱處理配方。直觀的圖形用戶界面提供了對廣泛的工藝參數、溫度配置文件和氣流設置的訪問,使用戶能夠針對特定的半導體器件需求定制和優化熱處理條件。為了提高安全性和可靠性,CX3000配備了多種安全聯鎖、警報和緊急關機機制,確保操作員保護,防止發生機組故障或異常時設備損壞。這些安全功能符合行業標準和法規,使CX-3000成為高精度擴散過程的可靠和安全的平臺。最後,KOKUSAI CX3000擴散爐機及配件為尋求在大批量生產環境中實現卓越晶圓加工效果的半導體制造商提供了無與倫比的性能、精度和可靠性。KOKUSAI CX-3000憑借其先進的功能、創新的設計和用戶友好的界面,是在熱處理技術領域設定新標準的前沿解決方案。
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